一种微波等离子体化学气相沉积形成的金刚石膜的制作方法

文档序号:18313205发布日期:2019-07-31 20:41
一种微波等离子体化学气相沉积形成的金刚石膜的制作方法

本实用新型涉及一种金刚石膜,具体涉及一种微波等离子体化学气相沉积形成的金刚石膜。



背景技术:

人造金刚石是热管理应用的理想材料,该材料是电绝缘体,导热性比铜高出四倍。最早是作为热沉材料应用于电信行业的敏感电子元件上。现已广泛应用于热管理领域。用于热沉领域的金刚石的必须具有高热导率,这就要求制备的金刚石纯净,缺陷少,面积大,同时还要求有较高的生长速率以降低生产成本。由于MPCVD的自身优点,决定了它是工业上制备热沉金刚石的理想方法。用MPCVD法制备的金刚石膜的热导率随沉积工艺的不同而一般在5~26W/(cm·K)之间。目前,采用MPCVD金刚石热沉(散热片)的大功率半导体激光器已经在光通信,在激光二极管、功率晶体管、电子封装材料等方面都有应用。

MPCVD(微波等离子体化学气相沉积)金刚石是将微波发生器产生的微波用波导管经隔离器进入反应器,并通入CH4与H2的混合气体,在微波的激励下,在反应室内产生辉光放电,使反应气体的分子离化,产生等离子体,在衬底上沉积得到金刚石膜。

由于MPCVD金刚石中不含任何金属催化剂,因此它的热稳定性接近天然金刚石。同高温高压人工合成聚晶金刚石一样,MPCVD金刚石晶粒也呈无序排列,无脆性解理面,因此呈现各向同性。

由于金刚石的高硬度、高耐磨性、导热性好使得金刚石薄膜成为极佳的工具材料,而目前还没有将金刚石膜应用到手机,平板电脑,LED照明等电子产品上。



技术实现要素:

本实用新型为了解决上述问题,从而提供一种微波等离子体化学气相沉积形成的金刚石膜。

为达到上述目的,本实用新型的技术方案如下:

一种微波等离子体化学气相沉积形成的金刚石膜,所述金刚石膜包括离型层、第一光学胶层、抗静电透明PET膜层、金刚石层、导热胶层、透明PET膜层和印刷涂层,所述抗静电透明PET膜层通过第一光学胶层固定在离型层上,所述金刚石层通过微波等离子体化学气相沉积工艺直接设置在抗静电透明PET膜层上,所述透明PET膜层通过PU胶层设置在金刚石层上,所述印刷涂层设置在透明PET膜层上。

在本实用新型的一个优选实施例中,所述离型层的厚度为0.01mm~0.03mm。

在本实用新型的一个优选实施例中,所述抗静电透明PET膜层的厚度为0.2mm~0.5mm。

在本实用新型的一个优选实施例中,所述金刚石层的厚度为0.1mm~0.5mm。

在本实用新型的一个优选实施例中,所述透明PET膜层的厚度为0.05mm~0.08mm。

在本实用新型的一个优选实施例中,所述印刷涂层为墨水印刷层。

在本实用新型的一个优选实施例中,所述第一光学胶层的厚度为0.01mm~0.02mm。

在本实用新型的一个优选实施例中,所述导热胶层由导热硅胶制成,所述导热胶层的厚度为0.005mm~0.01mm。

本实用新型的有益效果是:

本实用新型大大提高了手机,平板电脑,LED照明等电子产品上的保护膜的强度,并且可进行墨水印刷、印刷牢固高,抗静电效果和美观性都非常好。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本实用新型。

参见图1,本实用新型提供的微波等离子体化学气相沉积形成的金刚石膜,其包括离型层100、第一光学胶层200、抗静电透明PET膜层300、金刚石层400、导热胶层500、透明PET膜层600和印刷涂层700。

离型层100,其厚度为0.01mm~0.03mm,其是便于本申请可直接粘接在对应的物件上。

第一光学胶层200,其为0.01mm~0.02mm,其是便于抗静电透明PET膜层300固定在离型层100上。

抗静电透明PET膜层300,其通过第一光学胶层200固定在离型层100上,其厚度为0.2mm~0.5mm,其是用于形成金刚石层400,并且其还可提高本申请的耐高温性能、抗静电性能、透光率和抗腐蚀性能。

金刚石层400,其厚度为0.1mm~0.5mm,其通过微波等离子体化学气相沉积工艺直接设置在抗静电透明PET膜层300上,其用于提高本申请的整体强度,使得本申请被撞击后不易碎裂,并且还提高了本申请的导热性能和绝缘性能。

另外,在金刚石层400与抗静电透明PET膜层300之间还可先设置一氮化硅层410,氮化硅层410具体通过化学气相沉积工艺成型在抗静电透明PET膜层300,然后金刚石层400再通过微波等离子体化学气相沉积工艺成型在氮化硅层410上,这样可提高金刚石层400与抗静电透明PET膜层300之间的连接牢固性,防止金刚石层400脱落。

导热胶层500,其厚度为0.005mm~0.01mm,由导热硅胶制成,其是便于透明PET膜层600的粘接以及进一步提高本申请的导热性能。

另外,在金刚石层400与导热胶层500之间设有钯层420,钯层420通过化学气相沉积工艺直接成型在金刚石层400上,这样可提高金刚石层400与导热胶层500之间的连接强度,并且也进一步提高了导热性能。

另外,在导热胶层500与透明PET膜层600之间可依次设有第一PO膜层510、第一PU胶层520、第二PO膜层530、第二PU胶层540、第三PO膜层550和第三PU胶层560。

本申请通过将PO膜采用分层结构,分层后的PO膜之间通过PU胶粘接固定为一体,固定一体后的PO膜可与抗静电透明PET膜层300配合后抗腐蚀效果更好,并且还提高了耐高温性能。

另外,本申请中的第一PO膜层510、第二PO膜层530和第三PO膜层550的厚度依次递增,这样由软到硬,这样使得本申请具有3D曲面效果,并且3D曲面效果非常好,并且使得印刷涂层700设置在透明PET膜层600后,更美观。

透明PET膜层600,其厚度为0.05mm~0.08mm,其是用于进一步提高本申请的强度和便于印刷涂层700的印刷。

印刷涂层700具体为墨水印刷层。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

再多了解一些
当前第1页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1
777米奇在线影院鲁吧